การทบทวนเซ็นเซอร์ควอตซ์ Resonator โหมดความหนา-เฉือนสำหรับอุณหภูมิและความดัน

บทคัดย่อ—งานนี้ทบทวนการใช้ตัวสะท้อนโหมดเฉือนความหนาสำหรับการตรวจจับอุณหภูมิและการวัดความดันข้อดีของเซ็นเซอร์ดังกล่าวรวมถึงรูปแบบดิจิทัลโดยเนื้อแท้ ความละเอียดสูง ความแม่นยำสูง และความเสถียรในระยะยาวงานนี้ทบทวนหลักการทางกายภาพที่เกี่ยวข้องกับการทำงานของอุปกรณ์พร้อมกับผลการปฏิบัติงานของเซ็นเซอร์ที่ยกมา
เซ็นเซอร์อุณหภูมิที่มีจำหน่ายในท้องตลาดรุ่นแรกๆ นั้นเป็นแบบสแตนด์อะโลนการใช้งานและความสำเร็จในเชิงพาณิชย์พัฒนาผ่านขั้นตอนต่างๆ โดยขึ้นอยู่กับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เสริมที่มีอยู่ในขณะนั้น
แอปพลิเคชั่นตรวจจับอุณหภูมิจำนวนหนึ่งเป็นส่วนเสริมของเซ็นเซอร์เรโซเนเตอร์แรงเฉือนความหนาอื่นๆสองประเภทหลักคือตัวสะท้อนเสียงแยกต่างหากสำหรับการชดเชยอุณหภูมิและการทำงานแบบสองโหมดของตัวสะท้อนเสียงเฉือนแบบความหนาเดียวการทำงานแบบสองโหมดแบ่งย่อยออกเป็นการใช้สองโหมดจากตระกูลโหมดเฉือนความหนาต่างกัน หรือสองโหมดจากตระกูลโหมดเฉือนความหนาเดียวกัน
เซ็นเซอร์วัดแรงดันแบบต่างๆ ใช้ข้อเท็จจริงที่ว่าความถี่ของตัวสะท้อนแรงเฉือนแบบความหนาเปลี่ยนแปลงตามความเอนเอียงของความเค้นแอปพลิเคชันดังกล่าวแบ่งออกเป็นหมวดหมู่ตามรูปแบบของความเครียดที่ใช้
เงื่อนไขดัชนี — เรโซเนเตอร์แบบเพียโซอิเล็กทริก, การวัดความดัน, ควอตซ์, ทรานสดิวเซอร์ของควอทซ์เรโซเนเตอร์, เรโซเนเตอร์, การวัดอุณหภูมิ, ทรานสดิวเซอร์