การปลดล็อกลิเธียมแทนทาเลตบนฉนวน (LTOI) สำหรับการใช้งานโทนิคขั้นสูง

ปลดล็อกศักยภาพของลิเธียมแทนทาเลตบนฉนวน (LTOI) สำหรับการใช้งานโทนิคขั้นสูง

LTOI ย่อมาจากลิเธียมแทนทาเลตบนฉนวน เป็นเทคโนโลยีพื้นผิวเฉพาะที่ใช้ในสาขาโฟโตนิกส์แบบบูรณาการโดยเกี่ยวข้องกับการถ่ายโอนชั้นบางๆ ของผลึกลิเธียมแทนทาเลต (LiTaO3) ลงบนพื้นผิวที่เป็นฉนวน ซึ่งโดยทั่วไปคือซิลิกอนไดออกไซด์ (SiO2) หรือซิลิกอนไนไตรด์ (Si3N4)ซับสเตรต LTOI มีข้อได้เปรียบที่ไม่เหมือนใครสำหรับการพัฒนาอุปกรณ์โทนิคขนาดกะทัดรัดและประสิทธิภาพสูง

พื้นผิว LTOI ถูกสร้างขึ้นผ่านกระบวนการพันธะ โดยชั้นบางๆ ของผลึกลิเธียมแทนทาเลตจะถูกถ่ายโอนไปยังซับสเตรตที่เป็นฉนวนกระบวนการนี้สามารถทำได้ด้วยเทคนิคต่างๆ รวมถึงการเชื่อมด้วยแผ่นเวเฟอร์หรือการตัดด้วยไอออน เพื่อให้มั่นใจว่ามีการยึดเกาะที่แน่นแฟ้นระหว่างชั้น

พื้นผิว LTOI มีข้อได้เปรียบเฉพาะสำหรับการใช้งานโทนิคขั้นสูงการใช้ประโยชน์ในโมดูเลเตอร์อิเล็กโทรออปติก ท่อนำคลื่น อุปกรณ์ออปติกแบบไม่เชิงเส้น เซ็นเซอร์ ควอนตัมโฟโตนิกส์ และวงจรโฟโตนิกแบบบูรณาการ แสดงให้เห็นถึงการใช้งานที่หลากหลายและศักยภาพในการผลักดันขอบเขตของเทคโนโลยีโฟโตนิกส์แบบรวม